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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5984844(U) 申请公布日期 1984.06.08
申请号 JP19830157882U 申请日期 1983.10.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/08;H01L27/092;H01L27/118;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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