发明名称 SEMICONDUCTOR ACCELEROMETER
摘要
申请公布号 JPS5999356(A) 申请公布日期 1984.06.08
申请号 JP19830208408 申请日期 1983.11.08
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC 发明人 YAN INGEMAA HANSON
分类号 G01P15/08;G01P15/12;H01L29/84 主分类号 G01P15/08
代理机构 代理人
主权项
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