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发明名称 PROCESS FOR THE REMOVAL OF BORON FROM SILICON BY ZONE-MELTING WITH A REACTIVE PLASMA
摘要
申请公布号 EP0045689(B1) 申请公布日期 1984.06.06
申请号 EP19810401228 申请日期 1981.07.29
申请人 ELECTRICITE DE FRANCE SERVICE NATIONAL 发明人 AMOUROUX, JACQUES;MORVAN, DANIEL
分类号 C30B13/00;C30B13/22;(IPC1-7):30B13/22;30B29/06 主分类号 C30B13/00
代理机构 代理人
主权项
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