发明名称 METHOD FOR THE PRODUCTION OF A SEMICONDUCTOR DEVICE COMPRISING DIELECTRICALLY ISOLATING REGIONS
摘要
申请公布号 EP0074541(A3) 申请公布日期 1984.06.06
申请号 EP19820107889 申请日期 1982.08.27
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 OGAWA, TETSUYA;TOYOKURA, NOBUO
分类号 H01L29/78;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/324;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/32;H01L21/90 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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