| 发明名称 |
APERFEICOAMENTO EM UMA CAMARA DE DEPOSICAO POR DESCARGA LUMINOSA PARA A DEPOSICAO DE CAMADAS SEMI- CONDUTORAS SOBRE UM SUBSTRATO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
BR8305910(A) |
申请公布日期 |
1984.06.05 |
| 申请号 |
BR19830005910 |
申请日期 |
1983.10.26 |
| 申请人 |
ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. |
发明人 |
PREM NATH;KEVIN RICHARD HOFFMAN;TIMOTHY DEAN LAARMAN |
| 分类号 |
H01L31/04;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):H01L45/00 |
主分类号 |
H01L31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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