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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5983040(U) 申请公布日期 1984.06.05
申请号 JP19820179631U 申请日期 1982.11.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/673;H01L21/22;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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