| 发明名称 |
MAGNETIC TARGET FOR USE OF SPUTTER COATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5996269(A) |
申请公布日期 |
1984.06.02 |
| 申请号 |
JP19830204983 |
申请日期 |
1983.11.02 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC |
发明人 |
ROORENSU TEII REIMONTO JIYUNIA |
| 分类号 |
C23C14/36;B05D1/00;B05D3/14;C23C14/35;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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