发明名称 APPAREIL D'EXPOSITION
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE UN APPAREIL D'EXPOSITION PERMETTANT LA FORMATION D'UNE IMAGE DANS UNE POSITION FIXE.</P><P>CET APPAREIL COMPORTE UNE PLATINE 8 PORTANT UN MASQUE M, UNE PLATINE 7 PORTANT UNE TRANCHE W A EXPOSER, UN SYSTEME OPTIQUE 6 DE PROJECTION DE L'IMAGE DU MASQUE SUR LA TRANCHE, UN DISPOSITIF 4 DESTINE A ECLAIRER LE MASQUE, ET DES MOYENS DESTINES A FOURNIR DE LA CHALEUR AU SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION AFIN DE MAINTENIR CONSTANTE LA POSITION DE FORMATION D'IMAGE ETABLIE PAR CE SYSTEME DE PROJECTION PENDANT LES INTERVALLES COMPRIS ENTRE LES EXPOSITIONS.</P><P>DOMAINE D'APPLICATION : FABRICATION DE CIRCUITS INTEGRES.</P>
申请公布号 FR2536874(A1) 申请公布日期 1984.06.01
申请号 FR19830018925 申请日期 1983.11.28
申请人 CANON KK 发明人 SYUICHI YABU ET HIROSHI SATO;SATO HIROSHI
分类号 G03B27/32;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F9/00;G03F7/26;G02B27/20;G03B7/09 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
主权项
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