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发明名称 Verfahren zum gegenseitigen elektrischen Isolieren verschiedener in einer integrierten oder monolithischen Halbleitervorrichtung zusammengefasster Schaltelemente
摘要
申请公布号 CH451326(A) 申请公布日期 1968.05.15
申请号 CH19670000880 申请日期 1967.01.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 GEORGE KREN,JOHN;REGH,JOSEPH;KENROKU SETO,DAVID
分类号 C23F1/02;H01L21/00;H01L21/762;(IPC1-7):H01L1/16;H01L7/00 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
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