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发明名称 PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5994489(A) 申请公布日期 1984.05.31
申请号 JP19820203454 申请日期 1982.11.19
申请人 FUJI XEROX KK 发明人 MITA TSUNEMASA;KATOU YOSHITAKE;SEKIMOTO SOUICHI;SHIRATSUKE YOSHIYUKI;ARISAWA HIROSHI
分类号 H05K3/06;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H05K3/06
代理机构 代理人
主权项
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