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发明名称 APPARATUS FOR TRANSFERRING SEMICONDUCTOR WAFERS INTO CONTAINERS WITH VARIABLE PLACEMENT SPACING
摘要
申请公布号 SU1095275(A1) 申请公布日期 1984.05.30
申请号 SU19823488694 申请日期 1982.09.03
申请人 DEEV ANATOLIJ A,SU;GONCHAROV VITALIJ,SU;SUKHOSTAVETS VLADIMIR M,SU 发明人 DEEV ANATOLIJ A,SU;GONCHAROV VITALIJ I,SU;SUKHOSTAVETS VLADIMIR M,SU
分类号 H01L21/677;B23Q3/02;B65D85/57;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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