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发明名称 Vacuum evaporation source
摘要
申请公布号 US3405251(A) 申请公布日期 1968.10.08
申请号 US19660553981 申请日期 1966.05.31
申请人 TRW INC. 发明人 SPRIGGS REUBEN S.;LEARN ARTHUR J.;MARINOFF CHARLES
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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