| 发明名称 |
VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUM BEARBEITEN EINES WERKSTUECKS MITTELS EINES FOKUSSIERTEN ELEKTRONENSTRAHLS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3243033(A1) |
申请公布日期 |
1984.05.24 |
| 申请号 |
DE19823243033 |
申请日期 |
1982.11.22 |
| 申请人 |
INSTITUT FUER KERNTECHNIK UND ENERGIEWANDLUNG E.V. |
发明人 |
KOCH,DIETER,DR.-ING. |
| 分类号 |
B23K15/02;G05B19/41;H01J37/304;(IPC1-7):B23K15/00 |
主分类号 |
B23K15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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