发明名称 ELECTRIC FURNACE
摘要
申请公布号 JPS5989991(A) 申请公布日期 1984.05.24
申请号 JP19820199765 申请日期 1982.11.16
申请人 KAGAKUGIJUTSUCHO KINZOKU ZAIRYO KENKYUSHO (JAPAN) 发明人 NAKATANI ISAO;TAKAHASHI SATOSHI;MASUMOTO TAKESHI;HOSHI TSUTOMU
分类号 G01N25/00;F27B17/00;F27B17/02;F27D11/02;H01L21/20;H01L21/205 主分类号 G01N25/00
代理机构 代理人
主权项
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