发明名称 METHOD OF PRODUCING CHARGE STORAGE REGION OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS5988865(A) 申请公布日期 1984.05.22
申请号 JP19820198798 申请日期 1982.11.10
申请人 ADOBANSUTO MAIKURO DEIBAISHIZU INC 发明人 DARERU EMU AABU
分类号 G11C11/401;G11C11/34;H01L21/76;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/78 主分类号 G11C11/401
代理机构 代理人
主权项
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