发明名称 |
METHOD OF PRODUCING CHARGE STORAGE REGION OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5988865(A) |
申请公布日期 |
1984.05.22 |
申请号 |
JP19820198798 |
申请日期 |
1982.11.10 |
申请人 |
ADOBANSUTO MAIKURO DEIBAISHIZU INC |
发明人 |
DARERU EMU AABU |
分类号 |
G11C11/401;G11C11/34;H01L21/76;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/78 |
主分类号 |
G11C11/401 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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