| 发明名称 |
SENSOR ELEMENT USED IN CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS PERFORMED IN RADIANT ABSORBING TYPE HEATER SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5987037(A) |
申请公布日期 |
1984.05.19 |
| 申请号 |
JP19830186072 |
申请日期 |
1983.10.06 |
| 申请人 |
GENERAL INSTRUMENT CORP |
发明人 |
ROORENSU BII HIRU;DENISU GARUBISU;ROBAATO SHII HERAA;AMEDEO JIEE GURANATA |
| 分类号 |
C23C16/46;B01J19/00;C23C16/458;C23C16/48;C30B25/12;H01L21/203;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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