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发明名称 OPTICAL MICROSCOPE INSPECTING SPOT SCANNER AND DRIVING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPS5986146(A) 申请公布日期 1984.05.18
申请号 JP19830172848 申请日期 1983.09.19
申请人 SIEMENS SCHUCKERTWERKE AG 发明人 HANSUPEETAA FUOIERUBAUMU
分类号 G02B21/00;H01J37/28 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
主权项
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