| 发明名称 |
COUCHES EN SILICIUM POLYCRISTALLIN POUR DISPOSITIFS A SEMI-CONDUCTEURS ET PROCEDE DE FORMATION D'UN DISPOSITIF A SEMI-CONDUCTEURS |
| 摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE UN DISPOSITIF A SEMI-CONDUCTEURS CONTENANT UNE OU PLUSIEURS COUCHES DE SILICIUM POLYCRISTALLIN.</P><P>SELON L'INVENTION, LES COUCHES21, 24 DE SILICIUM POLYCRISTALLIN ONT UNE MOYENNE QUADRATIQUE DE RUGOSITE DE SURFACE NE DEPASSANT PAS ENVIRON 2NM.</P><P>L'INVENTION S'APPLIQUE NOTAMMENT AUX SEMI-CONDUCTEURS.</P>
|
| 申请公布号 |
FR2536210(A1) |
申请公布日期 |
1984.05.18 |
| 申请号 |
FR19830017929 |
申请日期 |
1983.11.10 |
| 申请人 |
RCA CORP |
发明人 |
ALOIS ERHARD WIDMER, GUNTHER HARBEKE, LISELOTTE KRAUSBAUER ET EDGAR FELIX STEIGMEIER;HARBEKE GUNTHER;KRAUSBAUER LISELOTTE;STEIGMEIER EDGAR FELIX |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/30;H01L21/32 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
