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发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5985869(A) 申请公布日期 1984.05.17
申请号 JP19820194638 申请日期 1982.11.08
申请人 TOSHIBA KK 发明人 TANAKA YUTAKA;HARIKAE MAKOTO;OOTAKE YASUHISA
分类号 H01J9/14;C23F1/00;C23F1/08;H01J9/02;H01J29/07 主分类号 H01J9/14
代理机构 代理人
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