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发明名称 METHOD OF APPLYING A RESIST PATTERN ON A SUBSTRATE, AND RESIST MATERIAL MIXTURE
摘要
申请公布号 EP0060585(B1) 申请公布日期 1984.05.16
申请号 EP19820200242 申请日期 1982.02.26
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 VAN PELT, PIETER;WIJDENES, JACOB
分类号 G03F7/039;G03F7/095;(IPC1-7):03F7/10 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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