发明名称 金属氧化物半导体后端处理
摘要
申请公布号 TW087317 申请公布日期 1987.05.16
申请号 TW074102776 申请日期 1985.06.26
申请人 英特公司 发明人
分类号 H01L21/24 主分类号 H01L21/24
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1﹒用以形成一成型之合金导电层于一半导体本体上之方法,本方法之构成步骤包括:a﹒将一金属导电层沉积于该半导体本体上面;b﹒将一层低温玻璃上自转层沉积于导电层上;此玻璃上自转层含有染料;以及c﹒于沉积低温玻璃上自转层后完成导电层之造型并进行摄氏200度以上之加热循环;因而,防止在导电层中生成小丘及空隙,以及此玻璃上自转层于型样制定时有抗反射层之作用。2﹒根据上述请求专利部份第1项所界定之方法,其中所述导电层为铝。3﹒根据上述请求专利部份第1项所界定之方法,其中玻璃上自转层大约为800至5000埃厚。4﹒用以形成一成型之合金导电层于矽基质上面之方法,本方法包含下列步骤:a﹒将金属导电层沉积于该矽基质上面;b﹒于该导电层上形成玻璃上自转层,该玻璃上自转层含有染料;c﹒使用光石版照相技术对该导电层予以造型;d﹒将该矽基质加热至足以使该导电层及该矽基质合金化之温度。5﹒根据上述请求专利部份第4项所界定之方法,其中该导电层为铝。6﹒根据上述请求专利部份第5项所界定之方法,其中该玻璃上自转层约为800至5,000埃厚。7﹒根据上述请求专利部份第6项所界定之方法,其中该矽基质至少被加热至约摄氏200度。
地址 美国