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摘要
申请公布号
JPS5920991(B2)
申请公布日期
1984.05.16
申请号
JP19780071004
申请日期
1978.06.14
申请人
RIGAKU DENKI CO LTD
发明人
MASE KYOSHI
分类号
G01T1/18;G01B15/00;G01T1/29
主分类号
G01T1/18
代理机构
代理人
主权项
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