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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5920638(B2)
申请公布日期
1984.05.14
申请号
JP19810016768
申请日期
1981.02.06
申请人
TEXAS INSTRUMENTS INC
发明人
RUISU AARU SUTOON
分类号
C30B19/00;C30B9/06;C30B19/04;C30B19/06;C30B29/40;H01L21/208
主分类号
C30B19/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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