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发明名称 Photolithography
摘要
申请公布号 GB2129217(A) 申请公布日期 1984.05.10
申请号 GB19830028605 申请日期 1983.10.26
申请人 * WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED 发明人 KYE HWAN * OH;DAVID STANLEY * YANEY
分类号 B67C3/26;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03C5/00;H01L21/44 主分类号 B67C3/26
代理机构 代理人
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