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发明名称 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR INSPEKTION VON BILDERN
摘要
申请公布号 DE3336471(A1) 申请公布日期 1984.05.10
申请号 DE19833336471 申请日期 1983.10.06
申请人 CAMBRIDGE INSTRUMENTS LTD., CAMBRIDGE, GB 发明人 BARKER, JOHN CARRINGTON, OAKINGTON, CAMBRIDGE, GB;CRUTTWELL, IAN ANDREW, GREAT CHISHALL,NR.ROYSTON, HERTFORDSHIRE, GB
分类号 G01N21/88;G01N21/956;G03F1/08;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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