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发明名称 METHOD OF FORMING ELECTRICALLY CONDUCTIVE LAYERS
摘要
申请公布号 EP0075874(A3) 申请公布日期 1984.05.09
申请号 EP19820108814 申请日期 1982.09.23
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DATHE, JOACHIM, DIPL.-PHYS.;HOLTSCHMIDT, WALTER
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/31;H01L21/3115;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/822;H01L29/06;H01L29/40;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/90 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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