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发明名称 VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN VON BANDFOERMIGEN SILIZIUMKOERPERN FUER SOLARZELLEN
摘要
申请公布号 DE3240245(A1) 申请公布日期 1984.05.03
申请号 DE19823240245 申请日期 1982.10.29
申请人 SIEMENS AG 发明人 FOELL,HELMUT,DR.RER.NAT.;FREIENSTEIN,BERNHARD,DIPL.-PHYS.;GEIM,KARL,DIPL.-PHYS.;GRABMAIER,JOSEF,DR.RER.NAT.;HINTRINGER,OTMAR,DR.
分类号 H01L31/04;B05C9/04;C30B15/00;C30B15/08;(IPC1-7):C30B15/08;H01L31/18;C23C1/14 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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