发明名称 Silicon-aluminium alloy metallization of semiconductor substrate
摘要
申请公布号 GB2128636(A) 申请公布日期 1984.05.02
申请号 GB19820029877 申请日期 1982.10.19
申请人 * MOTOROLA LTD 发明人 ALASTAIR JAMES * MALCOLM
分类号 H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/44;C23C13/00;H01L21/88 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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