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发明名称 VACUUM VAPOUR-DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 GB2062690(B) 申请公布日期 1984.05.02
申请号 GB19800030547 申请日期 1980.09.22
申请人 LEYBOLD-HERAEUS GMBH 发明人
分类号 C23C14/32;C23C14/00;C23C14/24;C23C14/56;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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