摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE UN APPAREIL DE PULVERISATION, UTILISABLE NOTAMMENT POUR LA FABRICATION DES DISPOSITIFS A SEMI-CONDUCTEURS.</P><P>CET APPAREIL COMPORTE UNE ANODE 19, UNE CIBLE FORMANT CATHODE DISPOSEE EN FACE DE LADITE ANODE ET DES AIMANTS 32 ET UN ANNEAU DE BLINDAGE 35, 36, QUI SONT DISPOSES AU VOISINAGE DE LADITE CIBLE, DONT UNE PARTIE D'EXTREMITE 30B POSSEDE SUR UNE PARTIE RAPPROCHEE DUDIT ANNEAU UNE FORME PLATE 30B.</P><P>APPLICATION NOTAMMENT A LA FABRICATION DE PASTILLES SEMI-CONDUCTRICES POUR DES CIRCUITS INTEGRES.</P>
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