发明名称 APPAREIL DE PULVERISATION, UTILISABLE NOTAMMENT POUR LA FABRICATION DES DISPOSITIFS A SEMI-CONDUCTEURS
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE UN APPAREIL DE PULVERISATION, UTILISABLE NOTAMMENT POUR LA FABRICATION DES DISPOSITIFS A SEMI-CONDUCTEURS.</P><P>CET APPAREIL COMPORTE UNE ANODE 19, UNE CIBLE FORMANT CATHODE DISPOSEE EN FACE DE LADITE ANODE ET DES AIMANTS 32 ET UN ANNEAU DE BLINDAGE 35, 36, QUI SONT DISPOSES AU VOISINAGE DE LADITE CIBLE, DONT UNE PARTIE D'EXTREMITE 30B POSSEDE SUR UNE PARTIE RAPPROCHEE DUDIT ANNEAU UNE FORME PLATE 30B.</P><P>APPLICATION NOTAMMENT A LA FABRICATION DE PASTILLES SEMI-CONDUCTRICES POUR DES CIRCUITS INTEGRES.</P>
申请公布号 FR2535109(A1) 申请公布日期 1984.04.27
申请号 FR19830012887 申请日期 1983.08.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIDEHARU KIYOTA ET MITSUAKI HORIUCHI;HORIUCHI MITSUAKI
分类号 C23C14/36;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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