发明名称 PICKUP DEVICE FOR PELLET
摘要
申请公布号 JPS5973292(A) 申请公布日期 1984.04.25
申请号 JP19820182113 申请日期 1982.10.19
申请人 SHINKAWA:KK 发明人 SHIMAZAKI HIDEKAZU;SHIMAZAKI YOSHIO;YOSHIOKA YOSHIO
分类号 B25J15/06;H01L21/673 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人
主权项
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