| 发明名称 |
DEVICE FOR TRANSMITTING ELECTRICAL AND MECHANICAL ENERGY TO SUBSTRATE HOLDER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5970780(A) |
申请公布日期 |
1984.04.21 |
| 申请号 |
JP19830102947 |
申请日期 |
1983.06.10 |
| 申请人 |
INTERN BUSINESS MACHINES CORP |
发明人 |
UIRIAMU UORUTAA BURAUN JIYUNIA;GERUHARUTO POORU DARUKE;FURANSHISU SEODOA RAPURU |
| 分类号 |
C23F4/00;C23C14/34;C23C14/50;F16J15/43;H01J37/18;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/67;H01L21/677 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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