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摘要
申请公布号 DE2501187(C2) 申请公布日期 1984.04.19
申请号 DE19752501187 申请日期 1975.01.14
申请人 ALLIED CORP., MORRIS TOWNSHIP, N.J., US 发明人 SCHEVEY, WILLIAM RUSSELL, HAWLEY, PA., US;KREMERS, FRANK JOSEPH, JORDAN, N.Y., US
分类号 G03C11/00;C09D9/00;G03F7/00;G03F7/42;H01L21/311;(IPC1-7):G03F7/10;G03C5/24 主分类号 G03C11/00
代理机构 代理人
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