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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG MONOLITHISCH INTEGRIERTER HALBLEITERVORRICHTUNGEN IN MISCHTECHNIK
摘要
申请公布号 DD209055(A1) 申请公布日期 1984.04.18
申请号 DD19820240752 申请日期 1982.06.16
申请人 BARTH,RAINER,DD;DIETRICH,BURKHARD,DD;EHWALD,KARL-ERNST,DD;KUEHNE,HEINZ,DD;PFAU,WOLFGANG,DD 发明人 BARTH,RAINER,DD;DIETRICH,BURKHARD,DD;EHWALD,KARL-ERNST,DD;KUEHNE,HEINZ,DD;PFAU,WOLFGANG,DD
分类号 H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/06;H01L21/72 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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