发明名称 WERKWIJZE VOOR HET PRODUCEREN VAN EEN HETEROSTRUCTUUR, WELKE EEN HETEROEPITAXIAAL, UIT MEERDERE BESTANDDELEN OPGEBOUWD MATERIAAL OMVAT; VOORWERP DAT EEN HETEROSTRUCTUUR OMVAT.
摘要
申请公布号 NL8303341(A) 申请公布日期 1984.04.16
申请号 NL19830003341 申请日期 1983.09.29
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED TE NEW YORK. 发明人
分类号 C30B23/02;C30B25/02;C30B25/18;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):C30B25/02;H01L21/31 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
主权项
地址