| 发明名称 |
APPAREIL DE TRAITEMENT DE GALETTES A SEMI-CONDUCTEURS. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH642484(A5) |
申请公布日期 |
1984.04.13 |
| 申请号 |
CH19810003235 |
申请日期 |
1981.05.18 |
| 申请人 |
BRANSON INTERNATIONAL PLASMA CORP. |
发明人 |
JOHN T. DAVIES;RICHARD F. REICHELDERFER |
| 分类号 |
H01L21/302;B65G49/07;C23C16/50;C23F1/08;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/67;(IPC1-7):H01L21/70;H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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