| 发明名称 |
Device for optically detecting defects on reflecting surfaces of substrates having structures in the mu m range |
| 摘要 |
Published without abstract. <IMAGE>
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| 申请公布号 |
DE3237826(A1) |
申请公布日期 |
1984.04.12 |
| 申请号 |
DE19823237826 |
申请日期 |
1982.10.12 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
BECKER,FRANK,DR.RER.NAT. |
| 分类号 |
G01N21/89;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88;G01B11/30;H01L21/02 |
主分类号 |
G01N21/89 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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