| 发明名称 |
DISPOSITIVO E PROCESSO DE DEPOSICAO DE VAPOR QUIMICO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
BR8304635(A) |
申请公布日期 |
1984.04.10 |
| 申请号 |
BR19838304635 |
申请日期 |
1983.08.26 |
| 申请人 |
ANICON, INC. |
发明人 |
BRYANT A. CAMPBELL;NICHOLAS E. MILLER |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C14/24;C23C16/46;C23C16/48;(IPC1-7):C23C13/02;C23C13/08 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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