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发明名称 IMMERSION SYSTEM FOR FOCUSING CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 SU1084912(A1) 申请公布日期 1984.04.07
申请号 SU19823377152 申请日期 1982.01.06
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I IM.A.F.IOFFE 发明人 BARANOVA LYUBOV A,SU;FISHKOVA TATYANA YA,SU;SHPAK EVGENIYA V,SU;YAVOR STELLA YA,SU
分类号 H01J3/18;(IPC1-7):H01J3/18 主分类号 H01J3/18
代理机构 代理人
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