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发明名称 APPARATUS FOR LOADING INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 SU1084916(A1) 申请公布日期 1984.04.07
申请号 SU19813288603 申请日期 1981.05.18
申请人 KHOMICH VIKTOR,SU;LYAKHOVICH VLADIMIR V,SU;KRUPKO MIKHAIL G,SU;RYCHAGO ALEKSANDR D,SU 发明人 KHOMICH VIKTOR I,SU;LYAKHOVICH VLADIMIR V,SU;KRUPKO MIKHAIL G,SU;RYCHAGO ALEKSANDR D,SU
分类号 H01L21/677;B23Q3/15;B65D85/57;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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