发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5961045(A) 申请公布日期 1984.04.07
申请号 JP19820171977 申请日期 1982.09.29
申请人 FUJITSU KK 发明人 GOTOU HIROSHI;TABATA AKIRA
分类号 H01L21/31;H01L21/76;H01L21/763 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
地址