发明名称
摘要
申请公布号 JPS5952625(U) 申请公布日期 1984.04.06
申请号 JP19820147881U 申请日期 1982.09.29
申请人 发明人
分类号 H01J37/317;H01L21/265;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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