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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER HETEROSTRUKTUR
摘要
申请公布号 DE3335189(A1) 申请公布日期 1984.04.05
申请号 DE19833335189 申请日期 1983.09.28
申请人 WESTERN ELECTRIC CO.,LTD. 发明人 MURRAY GIBSON,JOHN;MILO POATE,JOHN;TZUTSE TUNG,RAYMOND
分类号 C30B23/02;C30B25/02;C30B25/18;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/20;C30B23/04;C30B25/04 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
主权项
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