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Ein Verfahren zur kontaktlosen Prüfung eines Objekts, insbesondere von Mikroverdrahtungen, mit einer Korpuskularstrahlsonde, soll eine Widerstandsbestimmung belastungsfrei und ohne zeitliche Änderungen des Ladungszustands dieses Objekts erlauben. Ein erster Meßfleck (1) wird mit einem Schreibstrahl (WB) von etwa einer Primärelektronen-Energie EPE=2Eo bestrahlt, wobei Eo diejenige Energie ist, bei der die Zahl der das Objekt verlassenden Ladungen gleich der Zahl der auf das Objekt einfallenden Ladungen ist. Sodann wird ein weiterer Meßfleck (2, 3, 4, 13) überprüft, ob er eine leitende Verbindung mit dem ersten Meßfleck (1) aufweist. Der zweite Meßfleck (13) kann darauf hin überprüft werden, ob ein Probenstrom (i) fließt. Auf den zweiten Meßfleck (2, 3, 4) kann ein Lesestrahl (RB) von etwa einer Primärelektronen-Energie EPE=Eo gerichtet werden. Dabei dient dann die Zahl der mit einem Detektor (DT) nachgewiesenen Sekundärelektronen (SE) zur Feststellung, ob eine leitende Verbindung zwischen dem ersten Meßfleck (1) und dem zweiten Meßfleck (2, 3, 4) besteht.
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