Method of detecting failures in VLSI circuits with an electron probe.

摘要

Ein Verfahren zur Fehlersuche im Innern von VLSI-Schaltungen (IC) mit einer Elektronensonde (1) soll einen Fehler innerhalb einer VLSI-Schaltung (IC) automatisch erkennen und den Fehlerort lokalisieren können. Dies wird dadurch ermöglicht, daß Prüfpunkte Im Innern der VLSI-Schaltung (IC) eine Bezeichnung erhalten, daß die Funktion der VLSI-Schaltung (IC) mit einem Logiksimulator (CAD-System VENUS bzw. PRIMUS C) simuliert und die Soll-Pegel ermittelt werden, daß die VLSI-Schaltung (IC) über externe Anschlüsse getestet wird, wobei anhand des sich aus dieser Prüfung ergebenden Fehlerbildes Fehlerpfade bestimmt werden, daß der Ist-Wert am Prüfpunkt bestimmt wird, daß der Ist-Wert am Prüfpunkt mit dem Soll-Wert verglichen wird, daß der Vorgang des Testens an immer neuen Prüfpunkten im Fehlerpfad solange wiederholt wird, bis der Fehlerort lokalisiert wird.