发明名称 PROCESSING ELECTRICALLY CONDUCTIVE MATERIAL BY GLOW DISCHARGE
摘要
申请公布号 GB2060711(B) 申请公布日期 1984.04.04
申请号 GB19800024868 申请日期 1980.07.30
申请人 HITACHI LTD 发明人
分类号 C23C8/36;H01J37/32;(IPC1-7):C23C11/14 主分类号 C23C8/36
代理机构 代理人
主权项
地址