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经营范围
发明名称
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号
GB8405238(D0)
申请公布日期
1984.04.04
申请号
GB19840005238
申请日期
1984.02.29
申请人
VARIAN ASSOCIATES INC
发明人
分类号
B65G49/07;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):C23C14/22
主分类号
B65G49/07
代理机构
代理人
主权项
地址
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