发明名称 METHOD FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS5957986(A) 申请公布日期 1984.04.03
申请号 JP19820167423 申请日期 1982.09.24
申请人 SUMITOMO DENKI KOGYO KK 发明人 KOTANI TOSHIHIRO
分类号 C30B15/14;C30B15/20;C30B15/22;C30B15/36;C30B27/02;C30B29/40;H01L21/02;H01L21/208 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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