| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING ELECTRONIC DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5957436(A) |
申请公布日期 |
1984.04.03 |
| 申请号 |
JP19830155175 |
申请日期 |
1983.08.26 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC CO INC |
发明人 |
MARETSUKU ANDORE SUTAANHEIMU;UIRIAMU BUAN GERUDAA |
| 分类号 |
H01L21/302;G01B11/06;G01B11/22;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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