Verfahren zum Anbringen einer Siliziumnitridschicht,申请号AT19680005106-传众专利搜索

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发明名称	Verfahren zum Anbringen einer Siliziumnitridschicht
摘要
申请公布号	AT287789(B)	申请公布日期	1971.02.10
申请号	AT19680005106	申请日期	1968.05.28
申请人	N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN	发明人
分类号	C23C16/34;C23C16/48;(IPC1-7):H01L7/36	主分类号	C23C16/34
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